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首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 薄膜厚度測量 > 橢偏儀 > UVISEL PlusHORIBA 研究級經(jīng)典型橢偏儀

HORIBA 研究級經(jīng)典型橢偏儀

簡(jiǎn)要描述:HORIBA 研究級經(jīng)典型橢偏儀是一種無(wú)損無(wú)接觸的光學(xué)測量技術(shù),基于測量線(xiàn)偏振光經(jīng)過(guò)薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變,通過(guò)模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等,可測厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外,還可以測試材料的反射率及透過(guò)率。

  • 產(chǎn)品型號:UVISEL Plus
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2023-06-06
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1539
產(chǎn)品詳情

HORIBA 研究級經(jīng)典型橢偏儀簡(jiǎn)介:

橢圓偏振光譜是一種無(wú)損無(wú)接觸的光學(xué)測量技術(shù),基于測量線(xiàn)偏振光經(jīng)過(guò)薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變,通過(guò)模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等,可測厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外,還可以測試材料的反射率及透過(guò)率。


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技術(shù)參數:

      * 光譜范圍: 190-885 nm(可擴展至2100nm)

      * 微光斑可選50μm-100μm-1mm

      * 探測器:分別針對紫外,可見(jiàn)和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器

      * 自動(dòng)樣品臺尺寸:多種樣品臺可選

      * 自動(dòng)量角器:變角范圍40° - 90°,全自動(dòng)調整,小步長(cháng)0.01°


主要特點(diǎn):

      * 50KHz 高頻PEM 相調制技術(shù),測量光路中無(wú)運動(dòng)部件

      * 具備超薄膜所需的測量精度,超厚膜所需的高光譜分辨率

      * 具有毫秒級超快動(dòng)態(tài)采集模式,可用于在線(xiàn)實(shí)時(shí)監測

      * 自動(dòng)平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學(xué)反應池、液體池、密封池等多種附件

      * 配置靈活  



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