HORIBA 研究級經(jīng)典型橢偏儀
簡(jiǎn)要描述:HORIBA 研究級經(jīng)典型橢偏儀是一種無(wú)損無(wú)接觸的光學(xué)測量技術(shù),基于測量線(xiàn)偏振光經(jīng)過(guò)薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變,通過(guò)模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等,可測厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外,還可以測試材料的反射率及透過(guò)率。
- 產(chǎn)品型號:UVISEL Plus
- 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間:2023-06-06
- 訪(fǎng) 問(wèn) 量:1539
HORIBA 研究級經(jīng)典型橢偏儀簡(jiǎn)介:
橢圓偏振光譜是一種無(wú)損無(wú)接觸的光學(xué)測量技術(shù),基于測量線(xiàn)偏振光經(jīng)過(guò)薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變,通過(guò)模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等,可測厚度范圍為幾埃至幾十微米。此外,還可以測試材料的反射率及透過(guò)率。
技術(shù)參數:
* 光譜范圍: 190-885 nm(可擴展至2100nm)
* 微光斑可選50μm-100μm-1mm
* 探測器:分別針對紫外,可見(jiàn)和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器
* 自動(dòng)樣品臺尺寸:多種樣品臺可選
* 自動(dòng)量角器:變角范圍40° - 90°,全自動(dòng)調整,小步長(cháng)0.01°
主要特點(diǎn):
* 50KHz 高頻PEM 相調制技術(shù),測量光路中無(wú)運動(dòng)部件
* 具備超薄膜所需的測量精度,超厚膜所需的高光譜分辨率
* 具有毫秒級超快動(dòng)態(tài)采集模式,可用于在線(xiàn)實(shí)時(shí)監測
* 自動(dòng)平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學(xué)反應池、液體池、密封池等多種附件
* 配置靈活