臺階儀
簡(jiǎn)要描述:P-7臺階儀支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無(wú)需圖像拼接。
- 產(chǎn)品型號:P-7
- 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
- 更新時(shí)間:2023-06-05
- 訪(fǎng) 問(wèn) 量:2337
P-7 臺階儀
P-7臺階儀支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量,適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無(wú)需圖像拼接。
產(chǎn)品描述
P-7建立在P-17臺式探針輪廓分析系統的成功基礎之上。 它保持了P-17技術(shù)的測量性能,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了優(yōu)勢的性?xún)r(jià)比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達150mm而無(wú)需圖像拼接。
主要功能
· 臺階高度:幾納米至1000μm
· 微力恒力控制:0.03至50mg
· 樣品全直徑掃描,無(wú)需圖像拼接
· 視頻:500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機
· 圓弧校正:消除由于探針的弧形運動(dòng)引起的誤差
· 軟件:簡(jiǎn)單易用的軟件界面
· 生產(chǎn)能力:通過(guò)測序,模式識別和SECS / GEM實(shí)現全自動(dòng)化
主要應用
· 臺階高度:2D和3D臺階高度
· 紋理:2D和3D粗糙度和波紋度
· 形狀:2D和3D翹曲和形狀
· 應力:2D和3D薄膜應力
· 缺陷復檢:2D和3D缺陷表面形貌
工業(yè)應用
· 大學(xué)、研究實(shí)驗室和研究所
· 半導體和化合物半導體
· LED:發(fā)光二極管
· 太陽(yáng)能
· MEMS:微機電系統
· 數據存儲
· 汽車(chē)
· 醫療設備
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